EQUIPMENT

成膜装置

①　単元RFスパッタ装置

②　多元RFマグネトロンスパッタ装置

③　分子線エピタキシー装置　

④　金属蒸着装置

評価装置

①　紫外-可視-赤外分光光度計　SolidSpec DUV3600

②　紫外-可視分光光度計　UV-1800

③　触針式薄膜形状測定装置　Surfcom

④　インピーダンスアナライザ　Modulab

⑤　疑似太陽光源　HAL-320

⑥　Xe光源　MAX-302

⑦　単色照射用分光器